China is begonnen met de productie van eigen immersion DUV-lithografiemachines. ASML maakt traditioneel deze machines. De eerste systemen gaan dit jaar naar SMIC, Hua Hong en CXMT. Het aandeel ASML zakte na het nieuws met ruim 7 procent.
Volgens bronnen van The Information heeft een staatsgesteunde fabrikant de eerste binnenlandse immersion DUV-machines gebouwd. Die tools printen circuitpatronen op siliciumwafers en zijn voor Chinese chipmakers het meest geavanceerde alternatief nadat exportrestricties de toegang tot EUV-systemen afsneden.
De naam van de fabrikant bleef vanwege de gevoeligheid onbekend. Wel is de productie voorlopig beperkt. Het gaat om ongeveer vijf machines dit jaar en zo’n twintig in 2027. Het systeem loopt volgens de bronnen nog achter op prestaties en betrouwbaarheid en heeft extra tests nodig voordat massaproductie mogelijk is. Voorlopig blijven de voordelen van ASML dus intact.
De marktreactie was fors. Het aandeel ASML zakte ruim 7 procent, de slechtste dag sinds 8 juni. Ook toeleveranciers voelden de klap. BE Semiconductor Industries verloor zo’n 8,5 procent, Soitec 5 procent en Infineon Technologies bijna 3 procent.
Toch is het verschil met ASML nog groot. De Nederlandse fabrikant levert jaarlijks wereldwijd honderden immersion DUV-systemen. De geplande vijf tot twintig Chinese machines vallen daarbij in het niet.
Restricties dreven China naar eigen productie
Het Nederlandse kabinet beperkte de export van de meest geavanceerde DUV-immersion machines naar China. Later schrapte ASML onder druk van de VS ook al vergunde leveringen van specifieke DUV-systemen.
In de VS ligt inmiddels een wetsvoorstel dat verder gaat. De zogeheten MATCH Act moet de verkoop en service van DUV-machines aan China stoppen, met SMIC, Hua Hong en CXMT expliciet als doelwit. De binnenlandse machines bieden Chinese fabrikanten een alternatief voor kritieke apparatuur, nu Washington strengere regels overweegt.
China werkt ook aan een eigen EUV-machine, al bevindt die zich nog in het prototypestadium. Het stabiliseren van een nieuwe immersion DUV-tool voor productie met hoge yield kost doorgaans een jaar of langer, zelfs na de eerste tests. Massaal commercieel gebruik wordt daarom pas rond 2027 verwacht.