ASML-CEO Christophe Fouquet verwacht binnen enkele maanden de eerste chipproducten die zijn gemaakt op de nieuwe High-NA EUV-machines. Dat zei hij tijdens ITF World van onderzoeksinstituut imec in België. De machines, die tot 400 miljoen dollar per stuk kosten, zijn desondanks volgens TSMC te duur.
Dat liet TSMC enkele weken geleden weten. Fouquet lijkt er vooralsnog niet al te veel onder de indruk van. De High-NA EUV-lithografiemachines moeten de verdere verkleining en versnelling van toekomstige chips mogelijk maken. Ze stellen bedrijven als Intel, Nvidia, AMD, Samsung, SK Hynix en meer in staat kleinere en complexere circuits te creëren dan met de vorige generatie EUV-machines mogelijk was.
ASML wil met de nieuwe generatie de productiekosten voor geavanceerde chips structureel verlagen, voor zowel geheugen- als logicatoepassingen. Daar staan nu dus wel torenhoge aanschafkosten tegenover.
TSMC kiest voor bestaande EUV
TSMC presenteerde vorige maand twee nieuwe fabricageprocessen maar koos voor beide bewust niet voor de High-NA EUV-variant van ASML. De Taiwanese chipreus prefereert bestaande EUV-machines maximaal te benutten.
Kevin Zhang, deputy co-chief operations officer bij TSMC, omschreef dat als een kracht van de eigen R&D. Die keuze vormt een schril contrast met Intel, dat wél mikt op een vroeg voordeel op basis van het gebruik van High-NA EUV-apparatuur. Dat is deels te verklaren uit een eerder tijdperk waarbij de rollen waren omgedraaid. Intel koos een ruim decennium geleden ervoor om met de oudere DUV-technologie door te gaan, terwijl TSMC juist EUV zag als een kans om een voorsprong op te bouwen. Dat lukte ook. De fout van Intel was binnen enkele jaren kraakhelder, toen het vast bleef zitten op een ouder procedé terwijl TSMC klant na klant voor zich won.
Intel en SK Hynix al actief
Anno 2026 aarzelen niet alle chipmakers over ASML’s High-NA EUV-machines. SK Hynix assembleerde vorig jaar als eerste chipmaker ter wereld een commercieel High-NA EUV-systeem in een productieomgeving. Het tekende daarnaast een deal met ASML ter waarde van 8 miljard dollar. En Intel meldt dat zijn eerste twee High-NA machines inmiddels in productie zijn en al zo’n 300.000 wafers hebben verwerkt.