Intel meldt deze week dat de eerste twee High NA EUV-lithografiemachines van ASML in productie zijn in de fabrieken. Eerste ervaringen maken duidelijk dat de machines betrouwbaarder zijn dan eerdere modellen.
Op een conferentie in San Jose, Californië, verklaarde Steve Carson, senior principal engineer bij Intel, dat het bedrijf in één kwartaal 30.000 wafers produceerde met ASML’s high numerical aperture (NA) EUV-lithografiemachines.
Intel was vorig jaar de eerste chipfabrikant ter wereld die deze machines in gebruik nam. Ze kunnen kleinere en snellere computerchips produceren dan eerdere ASML-machines. Dit maakte een strategiewijziging mogelijk bij Intel. Die fabrikant liep achter op concurrenten bij het adopteren van de vorige generatie extreme ultraviolet (EUV) lithografiemachines. Nu ontving het nog eerder dan grote concurrent TSMC de apparatuur voor testdoeleinden.
Intel verloor koppositie
Het duurde zeven jaar voordat Intel die eerdere machines volledig in productie had, wat ertoe bijdroeg dat het zijn leiderspositie verloor aan TSMC. Intel had in de beginfase ook nog eens moeite met de opbrengsten vanuit de EUV-machines.
Carson verklaarde echter dat ASML’s nieuwe High NA-machines ongeveer twee keer zo betrouwbaar zijn als de vorige generatie in de eerste tests. Hij gaf aan dat Intel nu wafers produceert met een constante snelheid, wat een enorme winst is.
Besparing op productietijd en -kosten
De nieuwe ASML-machines, die chipstructuren afdrukken met lichtbundels, kunnen bovendien hetzelfde werk doen als eerdere machines met minder belichtingen, wat tijd en kosten bespaart.
Volgens Carson tonen eerste resultaten bij Intel aan dat de High NA-machines nu taken, waarvoor eerdere machines drie belichtingen en ongeveer 40 verwerkingsstappen nodig hadden, uitvoeren met slechts één belichting en een enkelcijferig aantal verwerkingsstappen.
Intel heeft aangegeven de High NA-machines te gebruiken voor de ontwikkeling van zijn 18A-productietechnologie, die later dit jaar in massaproductie moet gaan met een nieuwe generatie pc-chips. Wel zijn het de reguliere EUV-apparaten die de massaproductie zullen verzorgen.
Het bedrijf is van plan de High NA-machines volledig in te zetten voor de volgende generatie productietechnologie, genaamd 14A, maar heeft nog geen datum gegeven voor de massaproductie van die technologie.